集成電路執(zhí)照行業(yè)VOCs廢氣該如何處理，耀先環(huán)境告訴您
作者：admin 發(fā)布時(shí)間：2022-10-27 瀏覽次數(shù)：
集成電路執(zhí)照行業(yè)VOCs廢氣該如何處理，耀先環(huán)境告訴您
集成電路制造行業(yè)廢氣概述：集成電路制造行業(yè)廢氣的主要成分是揮發(fā)性有機(jī)VOCs。集成電路芯片生產(chǎn)過(guò)程中使用洗滌劑、光刻膠、剝離液、稀釋液等大量有機(jī)溶劑，產(chǎn)生一定量的VOCs廢氣，不僅產(chǎn)生大氣污染，還可能產(chǎn)生工廠環(huán)境異味，因此需要進(jìn)行VOCs廢氣處理，實(shí)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)排放。
工業(yè)廢氣處理設(shè)備催化燃燒裝置安全可靠，無(wú)二次污染
集成電路制造行業(yè)VOCs的主要來(lái)源。集成電路制造行業(yè)的VOCs來(lái)源主要集中化在揮發(fā)性有機(jī)溶劑的使用、運(yùn)輸、貯藏上。承載過(guò)程包括有機(jī)溶劑的原料承載和廢有機(jī)溶劑的承載過(guò)程、溶劑罐與槽車的接口等有機(jī)溶劑揮發(fā)。有機(jī)溶劑的貯藏主要包括罐的貯藏、化學(xué)品桶的貯藏和瓶裝的貯藏。有機(jī)溶劑罐的排氣、貯藏中的不密封或意外泄漏也是VOCs的來(lái)源。
集成電路行業(yè)VOCs的主要成分。集成電路行業(yè)有機(jī)廢氣VOC的主要成分為異丙醇和丙酮，這兩種物質(zhì)達(dá)到VOCs的主要成分為80%-100%，其中異丙醇占55%以上，丙酮占5%-34%。
活性炭吸附法。吸附法的主要原理是利用多孔固體吸附劑(活性碳、硅、分子篩等)處理有機(jī)廢氣，通過(guò)化學(xué)鍵力和分子引力充分吸附有害成分，吸附在吸附劑的表面，達(dá)到凈化有機(jī)廢氣的目的。吸附法目前主要應(yīng)用于大風(fēng)量、低濃度(≤800mg/m2)、無(wú)顆粒、無(wú)粘性、常溫低濃度有機(jī)廢氣凈化處理。
活性炭?jī)艋矢?活性炭吸附可達(dá)95%以上)，實(shí)用，操作簡(jiǎn)單，投資低。吸附飽和后需要更換新的活性炭，更換活性炭需要費(fèi)用，更換飽和后的活性炭也需要委托專家進(jìn)行危險(xiǎn)廢棄處理，運(yùn)行費(fèi)用高。
低溫等離子法。低溫等離子法利用等離子體內(nèi)部產(chǎn)生很高化學(xué)活性的特點(diǎn)，使用高壓放電裝置在放電時(shí)產(chǎn)生高能量電子和離子，分離空氣中的氧分子，氧分子吸收能量產(chǎn)生游離態(tài)氧離子，有機(jī)廢氣污染物與游離氧基團(tuán)反應(yīng)，終于轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，達(dá)到凈化廢氣的目的。
該方法適用范圍廣，凈化效率高，設(shè)備占地面積小，適用于其他方法難以處理的有機(jī)廢氣，但采用高壓放電裝置，含水、含塵、有機(jī)廢氣濃度高的密閉空間容易爆炸，存在危險(xiǎn)，因此限制了其使用。
燃燒法。燃燒法只在揮發(fā)性有機(jī)物在高溫和空氣充足的條件下完全燃燒，分解為CO2和H2O。燃燒法適用于各種有機(jī)廢氣，可分為直接燃燒、熱燃燒和催化燃燒。
排放濃度在5000mg/m以上的高濃度廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作為燃料燃燒，燃燒溫度一般控制在1100℃，處理效率高，達(dá)到95%-99%。
熱燃法適用于處理濃度為1000-5000mg/m的廢氣，采用熱燃法，廢氣中VOCs濃度低，需要利用其他燃料和助燃?xì)怏w，熱燃所需的溫度比直接燃燒低，約為540-820℃。燃燒法處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣含有S、N等要素，燃燒后產(chǎn)生的廢氣直接排出會(huì)造成二次污染。
熱燃燒和催化燃燒法處理有機(jī)廢氣，凈化率高，但投資運(yùn)營(yíng)成本較高。廢氣排放點(diǎn)多，分散，集中收集困難。燃燒裝置需要多套且占地面積大。熱燃燒適用于24小時(shí)連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)、濃度高、穩(wěn)定的廢氣狀況，不適用于間歇性生產(chǎn)線狀況。催化燃燒的投資和運(yùn)營(yíng)費(fèi)用比熱燃燒低，但凈化效率也比較低，但貴金屬催化劑容易因廢氣中的雜質(zhì)(硫化物等中毒而失效，更換催化劑的費(fèi)用也比較高，同時(shí)對(duì)廢氣進(jìn)氣條件的控制非常嚴(yán)格，催化燃燒室堵塞引起事故。
UV光解法。UV光解凈化法利用高能量UV紫外光束分解空氣中的氧分子產(chǎn)生游離氧(即活性氧)，由于游離氧攜帶的正負(fù)電子不平衡，需要與氧分子結(jié)合，產(chǎn)生臭氧，臭氧具有較強(qiáng)的氧化性，臭氧協(xié)同有機(jī)廢氣、惡臭氣體的光解氧化作用，將有機(jī)廢氣、惡臭氣體物質(zhì)分解轉(zhuǎn)化為低分子化合物、CO2和H2O。
UV光解法具有很高處理效率，可達(dá)95%以上的適應(yīng)性強(qiáng)，適應(yīng)中低濃度、大氣量、不同有機(jī)廢氣和惡臭氣體物質(zhì)的凈化處理產(chǎn)品性能穩(wěn)定，運(yùn)行穩(wěn)定，每天24小時(shí)連續(xù)工作UV光解法由于采用光解原理，模塊采用隔爆處理，消除了隱患，防火、防爆、防腐蝕性能高，設(shè)備性能穩(wěn)定，特別適用于采油（氣）田、石油化工、制藥等防爆要求高的行業(yè)。
廢氣處理設(shè)備廠家耀先環(huán)境經(jīng)驗(yàn)豐富效果佳
江陰耀先環(huán)境是VOCs廢氣處理廠家，絕大部分VOCs都是易燃易爆氣體，不要盲目跟風(fēng)選擇治理技術(shù)工藝，耀先將根據(jù)廢氣的成份、濃度、濕度、風(fēng)量、含塵量等做合理選擇，為企業(yè)打造安全效率高的VOCs治理設(shè)備！您的信賴與好評(píng)是我們光榮的勛章！歡迎各界有識(shí)之士蒞臨參觀考察！
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